InGaZnO °Ë»ö°á°ú
100 °Ç (1/10 ÂÊ)
»ó¼¼Á¶°Ç 
 
ÆÄÀÏÁ¾·ù 
|
RF Sputter¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ InGaZnO(IGZO) ¹Ú¸·ÁõÂø ·¹Æ÷Æ® / 1. ½ÇÇè Á¦¸ñ 2. ½ÇÇè ¸ñÀû 3. ½ÇÇè ¿ø¸® 4. ½ÇÇè 5. ½ÇÇè°á°ú / 1. ½ÇÇè Á¦¸ñ RF Sputter¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ InGaZnO(IGZO) ¹Ú¸·ÁõÂø¿¡ °üÇÑ ½ÇÇè Á¦¸ñÀº ÀüÀÚ±â±â¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ ±â¼úÀÇ ¹ßÀü¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ¼ÒÀçÀÎ IGZO ¹Ú¸·À» °íµµÈÇÏ´Â °úÁ¤À» ´Ù·é´Ù. IGZO´Â ³ôÀº À̵¿µµ, ³·Àº ÀüÇÏ À̵¿¼º, ±×¸®°í ¿ì¼öÇÑ ±¤ÇÐÀû Ư¼ºÀ» °¡Áø ¹Ý¡¦ |
|
|
|
|