1. ½ÇÇè Á¦¸ñ
RF Sputter¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ InGaZnO(IGZO) ¹Ú¸·ÁõÂø¿¡ °üÇÑ ½ÇÇè Á¦¸ñÀº ÀüÀÚ±â±â¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ ±â¼úÀÇ ¹ßÀü¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ¼ÒÀçÀÎ IGZO ¹Ú¸·À» °íµµÈÇÏ´Â °úÁ¤À» ´Ù·é´Ù. IGZO´Â ³ôÀº À̵¿µµ, ³·Àº ÀüÇÏ À̵¿¼º, ±×¸®°í ¿ì¼öÇÑ ±¤ÇÐÀû Ư¼ºÀ» °¡Áø ¹ÝµµÃ¼·Î, ƯÈ÷ ¾×Á¤ µð½ºÇ÷¹ÀÌ(LCD)¿Í OLED µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿Í °°Àº ÷´Ü ÀüÀÚ ±â±â¿¡ ³Î¸® »ç¿ëµÈ´Ù. º» ½ÇÇè¿¡¼ RF Sputter ±â¼úÀº IGZO ¹Ú¸·À» ±ÕÀÏÇÏ°í Á¤¹ÐÇÏ°Ô ÁõÂøÇÏ´Â µ¥ ÇÊ¿äÇÑ ÇÙ½É ±â¼ú·Î ÀÚ¸®Àâ°í ÀÖ´Ù. RF Sputter´Â °íÁÖÆÄ Àü°è¸¦ ÀÌ¿ëÇØ Å¸°Ù¿¡¼ ¿øÀÚ¸¦ ¹æÃâÇÏ°í, ÀÌ ¿øÀÚµéÀÌ ±âÆÇ¿¡ ÁõÂøµÇ¾î ¹Ú¸·À» Çü¼ºÇÏ´Â ¿ø¸®·Î ÀÛµ¿ÇÑ´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ °í¿ÂÀ¸·Î ±¸µ¿µÇ´Â RF ÇöóÁ°¡ Ÿ°ÙÀÇ ¿øÀÚµéÀ» ÀÌ¿ÂÈÇÏ¿© ºü¸£°í ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ÁõÂøÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù. IGZO ¹Ú¸·ÀÇ Æ¯¼ºÀº ±²ÀåÈ÷ ¹Î°¨ÇÏ°Ô º¯ÈÇÒ ¼ö ÀÖ¾î, ±âÆÇ ¿Âµµ, ¾Ð·Â, ÁõÂø ½Ã°£ µî ¿©·¯ °¡Áö ½ÇÇè ¸Å°³º¯¼ö¸¦ Á¶ÀýÇÏ¿© ÃÖÀûÀÇ Á¶°ÇÀ» ã¾Æ³»´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÏ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ½ÇÇèÀº ¹Ú¸·ÀÇ °áÁ¤ ±¸Á¶¿Í ÀüÇÏ À̵¿¼ºÀ» Çâ»ó½ÃÅ°°í, ³ª¾Æ°¡ IGZO¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÏ´Â ÀüÀÚ ¼ÒÀÚÀÇ ¼º´ÉÀ» ±Ø´ëÈÇÏ´Â µ¥ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. IGZO ¹Ú¸· ÁõÂø °úÁ¤¿¡¼ °Þ´Â ¿©·¯ º¯¼öµé, ¡¦(»ý·«)
|