Electron ·¹Æ÷Æ® °øÇбâ¼ú °Ë»ö°á°ú
130 °Ç (1/13 ÂÊ)
»ó¼¼Á¶°Ç 
 
ÆÄÀÏÁ¾·ù 
|
ÀüÀÚÆÄ °Å¸®ÀÇ ¿ø¸®[Electronic Distance Measurement Devices ;EDM] / 1)ÀüÀÚÆÄ(ï³í¸÷î) °Å¸®ÀÇ ¿ø¸®(Electronic Distance Measurement Devices ;EDM)ÀüÀÚÆÄ Ãø°ÅÀÇ·Î ÃøÁ¤ÇÏ°íÀÚ ÇÏ´Â 2Á¡°£¿¡ ÀüÀÚÆĸ¦ ¿Õº¹½ÃÅ°¸é ¹Ý»çÇÏ¿© µÇµ¹¾Æ¿À´Â ÀüÀÚÆÄÀÇ À§»ó(êÈßÓ)Àº °Å¸®¿¡ »óÀÀÇÏ¿© ÇöÀå¿¡¼ °Å¸®Ãø·®À» ½Ç½ÃÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÁöÇü¿¡ Á¿ìµÇ´Â ÀÏÀÌ ¾øÀÌ °Å¸®°¡ ÃøÁ¤µÇ´Â ÀÌÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.1) EDMÃøÁ¤±â¡¦ |
|
°øÇбâ¼ú  | 
5p age   | 
1,500 ¿ø
|
|
|
|
|
|
¡¥ Áï, TEM°ú ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ(SEM:Scanning Electron Microscopy)ÀÇ º¹ÇÕ±â¼ú·Î ±¹ºÎÀûÀÎ ¹Ì¼¼±¸Á¶ÀÇ Á÷Á¢°üÂû°ú µ¿½Ã¿¡ ÈÇÐÁ¶¼ºÀ» Á¤·®ÈÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù. ÃÖ±ÙÀÇ AEMÀ¸·Î´Â ¼ö·Å¼º ÀüÀÚºöÀÇ Å½Ä§Å©±â¸¦ 2¡Ê±îÁö ÀÛ°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î¼ EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)¿Í EELS(Electron Energy Loss Spectroscopy)·Î 100nm3 ÀÌÇÏÀÇ ºÎÇǸ¦ ±¸¼ºÇÏ°í ÀÖ´Â ÈÇмººÐÀ» Á¤·®ÈÇÒ¡¦ |
|
°øÇбâ¼ú  | 
12p age   | 
1,500 ¿ø
|
|
|
|
|
|
º» ÀÚ·á´Â ±¤Çбâ±âÀÇ ´ëÇÑ ³»¿ëÀ» Á¤¸®ÇÑ ¸®Æ÷Æ®ÀÔ´Ï´Ù. ±â±â¸®Æ÷Æ®ÀÚ·á¸ðÀº°Í[1] / - Å׶óÇ츣Ã÷ÆÄ ±¤¿ø - ±ØÃÊ´Ü ¹æ»ç¿ø(X-¼±) ½ºÀ§Ä¡ °³¹ß - ÀüÀÚºö [ï³í-, electron beam] - ÀüÀÚÇö¹Ì°æ - ±¤ÇÐÇö¹Ì°æ / - Å׶óÇ츣Ã÷ÆÄ ±¤¿ø : ÀϹÝÀûÀ¸·Î 0.1 -10 THz Á¤µµÀÇ ÁÖÆļö¸¦ °¡Áø ÀüÀÚÆĸ¦ ¹ß»ýÇϸç, ÆÄÀåÀ¸·Î´Â 30§ - 3000§, ¿¡³ÊÁö·Î´Â 0.4 - 40meV¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ¿µ¿ªÀÌ´Ù. µû¶ó¼ ¿ì¡¦ |
|
°øÇбâ¼ú  | 
2p age   | 
1,000 ¿ø
|
|
|
|
|
|
ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀº °ÅÀÇ ºûÀÇ ¼Óµµ·Î À̵¿ÇÏ´Â ÀüÀÚÀÇ Æĵ¿¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ÀüÀÚ°¡¼Ó±â·Î¼ ÀüÀÚºöÀ» ÀüÀڱⷻÁ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÃÐÁ¡À» Çü¼ºÇÑ´Ù. °¡¼ÓÀü¾ÐÀº ´ë°³ 6... / ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀº °ÅÀÇ ºûÀÇ ¼Óµµ·Î À̵¿ÇÏ´Â ÀüÀÚÀÇ Æĵ¿¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ÀüÀÚ°¡¼Ó±â·Î¼ ÀüÀÚºöÀ» ÀüÀڱⷻÁ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÃÐÁ¡À» Çü¼ºÇÑ´Ù. °¡¼ÓÀü¾ÐÀº ´ë°³ 60-100 keVÀÌ°í illumination source·Î¼´Â ÅÖ½ºÅÙÀ¸·Î ¸¸µç filament¸¦ »ç¿ë¡¦ |
|
°øÇбâ¼ú  | 
9p age   | 
1,000 ¿ø
|
|
|
|
|
|
÷´Ü±â¼úÁ¤º¸ÀÎ ½Å °³³ä ³ª³ë±â¼ú Atomic Image Projection Electron-beam LithographyÀ» ºÐ¼®ÇÑ ÀÚ·á·Î ÇѱÛÆÄÀÏ°ú ÆÄ¿öÆ÷ÀÎÆ® ÀڷḦ ÇÔ²² ÷ºÎÇÏ¿´½À´Ï´Ù. AIPEL / ³ª³ë ±â¼úÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â °øÁ¤ ±â¼úÀº Å©°Ô µÎ °¡ÁöÀÇ ¹æ¹ýÀ¸·Î ³ª´¶´Ù. ù ¹ø°´Â ±âÁ¸ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀû ±â¼úÀÇ ¿¬Àå¼±»ó¿¡¼ »ý°¢ÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î, Áï ¹Ú¸·À» ÁõÂøÇÏ°í, ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÆÐÅÍ´×°ú ¿¡ÄªÀ» ÅëÇÏ¿© ÇÇó¸¦ Á¤ÀÇÇÏ´Â ¹æ¡¦ |
|
°øÇбâ¼ú  | 
16p age   | 
2,000 ¿ø
|
|
|
|
|
|
ÀüÀÚȸ·Î ½Ã°£¿¡ ¹è¿î ³»¿ëÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Á¶°Ç¿¡ ¸Â´Â ÁõÆø±â¸¦ ¼³°èÇÑ´Ù. ElectronicCircuits(Á¦Ãâ¿ë) / 1. ¼³°è ¸ñÀû 2. ¼³°èÀÌ·Ð ¹«¾ùÀ» ¼³°èÇϴ°¡ Ä¿ÆнÃÅÍÀÇ ¿ëµµ´Â ¼³°è ÀÌÀüÀÇ ÀÌ·Ð 3. ¼³°è ¼ÕÀ¸·Î Ǭ DC Çؼ® ¼ÕÀ¸·Î Ǭ AC Çؼ® °á°úºÐ¼® fh3db ÁÖÆļö Çؼ® ºÐ¼® ¹× °á·Ð / ¹ÙÀÌÆú¶ó ¼ÒÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ±âº» ÁõÆø±â¸¦ ÁÖ¾îÁø ±Ô°Ý´ë·Î ¼³°èÇÏ°í CAD toolÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¼³°è³»¿ëÀ» ¡¦ |
|
°øÇбâ¼ú  | 
15p age   | 
1,000 ¿ø
|
|
|
|
|
|
[°øÇÐ] ÀüÀÚºö °¡°ø °³¿ä ¹× Àû¿ë»ç·Ê / ÀüÀÚºö °¡°ø °³¿ä ¹× Àû¿ë»ç·Ê(Electron-Beam Processing) 3 ÀüÀÚºö ¿ëÁ¢ÀÇ ÀåÁ¡ 4 ÀüÀÚºö ¿ëÁ¢ÀÇ ´ÜÁ¡ 5 ÀüÀÚºö ¿ëÁ¢ÀÇ Àû¿ë »ç·Ê Contents 1 ÀüÀÚºö °¡°øÀÇ °³¡¦ |
|
°øÇбâ¼ú  | 
17p age   | 
3,000 ¿ø
|
|
|
|
|
|
¡¥ °Å¸®¸¦ ¾Ë¾Æ ³¾ ¼ö ÀÖ´Ù. - ÀüÀÚÇö¹Ì°æ(EM: Electron Microscopy): ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î 10 nmÀÌ»óÀÇ °Å´ëºÐÀÚÀÇ 2Â÷¿ø±¸Á¶¸¦ ¾Ë¾Æ³¾ ¼ö Àִµ¥, À̶§ ¿©·¯ °¡Áö °¢µµ¿¡¼ ÀâÈù EM À̹ÌÁö¸¦ À籸¼º(reconstitution)½ÃÅ°¸é ºÐÀÚÀÇ 3Â÷¿ø ±¸Á¶¸¦ ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. - ¿øÀÚ·ÂÇö¹Ì°æ(AFM: Atomic Force Microscopy) : ÀÏÁ¤ÇÑ °ÝÀÚ(grid)¿¡ ³õ¿© ÀÖ´Â »ýü °íºÐÀÚ À§¸¦ ŽħÀ¸·Î ½ºÄµÇϸé Ž¡¦ |
|
°øÇбâ¼ú  | 
4p age   | 
1,000 ¿ø
|
|
|
|
|
|
¡¥logy Innovation)À̶ó ºÒ¸®¿ì¸ç ÀÌ´Â ÁÖ·Î Electronics ±â¼úÀ» Áß½ÉÀ¸·Î Àü°³µÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. Electronics ±â¼úÀÇ ÀÚµ¿È ÀÀ¿ëÀº ù°, ´Ù¾çÇÑ °øÁ¤¿¡¼ÀÇ Á¦¾î°èÃøºÐ¾ß¿Í µÑ°, Á¤º¸Ã³¸®ºÐ¾ß Áï, Åë½ÅÀ̳ª ÄÄÇ»ÅÍ ½Ã½ºÅۺо߷Π¹ßÀüÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °ÍµéÀ» ÀÀ¿ëÇÏ¿© ´«ºÎ½Å Áøº¸¸¦ ÀÌ·èÇÑ °ÍÀÌ ¹Ù·Î °¡°ø, Á¶¸³µîÀ» ½ÇÇàÇÏ´Â »ý»êÀÚµ¿È ºÐ¾ß ÀÔ´Ï´Ù. °ú°Å »ç¶÷ÀÇ ¼Õ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ¡¦ |
|
°øÇбâ¼ú  | 
25p age   | 
3,000 ¿ø
|
|
|
|
|
|
¹æÇâÁ· ÈÇÕ¹°ÀÇ ´ÏÆ®·ÎÈ ¹ÝÀÀ¿¡ ´ëÇؼ ¼³¸íÇÏ°í ÀÖ´Ù. ´ÏÆ®·ÎȹÝÀÀ / ÀÌ ¹ÝÀÀ¿¡¼ Ä£ÀüÀÚü´Â Áú»ê¿¡ ¾ç¼ºÀÚ°¡ ÷°¡µÈ ÈÄ ¹°À» ÀÒ¾î¹ö¸²À¸·Î¼ »ý¼ºµÇ´Ânitronium ion (NO2+)ÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ nitronium ionÀÌ ¹æÇâÁ· ÈÇÕ¹°°ú ¹ÝÀÀÇÏ¿© carbocationÀÇ Áß°£Ã¼¸¦ »ý¼ºÇÑ ÈÄ ¾ç¼ºÀÚ¸¦ ÀÒ¾î¹ö¸²À¸·Î¼ nitro±×·ì(NO2)ÀÌ Ä¡È¯µÈ »ý¼º¹°ÀÌ ¾ò¾îÁø´Ù. Nitration ¹ÝÀÀÀÇ ¿ëÀ̼º°ú ÁöÇ⼺(orienta¡¦ |
|
°øÇбâ¼ú  | 
3p age   | 
1,000 ¿ø
|
|
|
|
|