1. ½ÇÇèÁ¦¸ñ : ITO Scribing & Cleaning
2. ½ÇÇèÁ¶ & ½ÇÇèÀÚ :
3. ½ÇÇè¸ñÀû
◦OLED/PLED/OPV deviceÀÇ Åõ¸íÀü±ØÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â ITO glass¸¦ ¿øÇÏ´Â Å©±â·Î ÀÚ¸£´Â ¹æ¹ýÀ» ½ÀµæÇÑ´Ù.
◦¿øÇÏ´Â ¸ð¾çÀ¸·Î ÀÚ¸¥ ITO glassÀÇ ¿À¿°µÈ Ç¥¸éÀ» ¼¼Á¤ÇÏ¿© ¼ÒÀÚÀÇ ¼º´É ¹× ¼öÀ²À» Çâ»ó½ÃŲ´Ù.
4. ½ÇÇèÀÌ·Ð
Pattern °øÁ¤À» Çϱâ À§Çؼ´Â ÁÖº¯ÀÇ Ã»Á¤µµ°¡ ¸Å¿ì Áß¿äÇѵ¥, ¾Æ·¡ ±×¸²¿¡¼ º¸´Â °Í°ú °°ÀÌ Clean room ¿¡¼ ºû¿¡ ³ëÃâµÇÁö ¾Ê´Â ȯ°æÀ» ±¸ºñÇÑ ÈÄ °øÁ¤À» ½ÃÀÛÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù.
◦ Cleaning & Wet-Station ÀÇ Á߿伺
¸ðµç ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àº ¿À¿°¹°µéÀÇ ±Ù¿øÀÌ°í ÀÌ´Â ¼ÒÀÚÀÇ ¼º´É°ú ¼öÀ²¿¡ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡°Ô µÈ´Ù. °¢ °øÁ¤ ÈÄ Glass Ç¥¸éÀÇ ¿À¿°¹°Àº ±âÇϱ޼öÀûÀ¸·Î ´Ã¾î³ª°Ô µÇ°í ÀÌ ¿À¿°¹°¿¡ ÀÇÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ ¼öÀ²Àº ±Þ°ÝÈ÷ °¨¼ÒÇÏ°Ô µÈ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ °øÁ¤Àº Glass Ç¥¸éÀÇ ¸ðµç ¿À¿°¹°À» ¿Ïº®È÷ Á¦°ÅÇÏ´Â °ÍÀÌ °¡Àå ÀÌ»óÀûÀÎ ¸ñÇ¥À̱â´Â ÇÏÁö¸¸ ±×°ÍÀº °ÅÀÇ ºÒ°¡´ÉÇÏ´Ù°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ½ÇÁ¦·Î ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ °øÁ¤Àº °¢ °øÁ¤ Àü°ú ÈÄ¿¡ ½Ç½ÃÇÏ¿© ±âÇÏ ±Þ¼öÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇÏ´Â ¿À¿°¹°À» ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ °¨¼Ò½ÃÅ°´Â °ÍÀÌ ±× ÁÖµÈ ¸ñÀûÀÌ´Ù. µû¶ó¡¦(»ý·«)
|