세라믹 공학 실험 보고서 (Pulsed laser deposition of oxide thin films and their analysis)

1. 분석자료

Pulsed laser deposition (PLD)에서 산화물 박막의 분석자료는 다양한 물리적, 화학적 성질을 평가하는 데 중요한 역할을 한다. PLD는 금속 및 산화물 표면에 레이저 펄스를 이용해 플라즈마를 생성하고, 이 플라즈마에서 방출된 원자와 분자가 기판 위에 응축되어 박막이 형성되는 방법이다. 이 과정에서 얻어진 박막의 특성을 분석하기 위해서는 여러 분광학적 기법과 물리적 측정 방법이 필요하다. 먼저, X-선 회절(XRD) 분석은 박막의 결정 구조 및 결정성을 평가하는 데 사용된다. XRD 패턴에서 관찰되는 피크의 위치와 강도는 특정 결정 구조를 나타내며, 이를 통해 박막의 결정격자 상수, 결정면의 정렬, 그리고 크기를 평가할 수 있다. 또한, XRD는 박막의 상변화를 확인하는 데도 유용하다. 예를 들어, 열처리 전후의 XRD 분석을 통해 열처리가 박막의 결정 구조에 미치는 영향을 조사할 수 있다. 다음으로, 주사 전자현미경(SEM)과 주사 터널링 현미경(STM)과 같은 전자 현미경 기법은 박막의 표면 형상 및 미세 구조를 관찰하는 데 필수적이다. SEM에서는 3D 이미지를 통해 박막의 평균 거칠기, 결함 및 균일성을 확인할 수 있으며, 이는 박막의 전…(생략)