1. ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ ½ÃÀå Á¡À¯À²
¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ ½ÃÀå¿¡¼ EUV(EUV Lithography) ±â¼úÀº ÃÖ±Ù ¸î ³â °£ Å©°Ô ºÎ°¢µÇ¾ú´Ù. EUV´Â ³ôÀº Çػ󵵸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Çõ½ÅÀûÀÎ ³ë±¤ ±â¼ú·Î, 7nm ÀÌÇÏÀÇ Á¤¹ÐÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Á¤¹Ðµµ¸¦ ÀÚ¶ûÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯Â¡ ¶§¹®¿¡ EUV ±â¼úÀº Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ÇʼöÀûÀ̸ç, ´Ù¾çÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ ÀÌ ±â¼úÀ» µµÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù. EUV ³ë±¤ Àåºñ´Â ±âÁ¸ÀÇ DUV(Deep Ultraviolet) ³ë±¤ Àåºñ¿¡ ºñÇØ »ý»ê¼º°ú Àü¹ÝÀûÀÎ Á¦Á¶ ºñ¿ëÀÇ Àý°¨À» °¡´ÉÇÏ°Ô Çϸç, ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯¼º ¶§¹®¿¡ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷üµéÀº EUV ±â¼úÀ» äÅÃÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ ½ÃÀåÀº Å©°Ô DUV¿Í EUV·Î ³ª´µ¸ç, DUVÀÇ Á¡À¯À²ÀÌ ¿©ÀüÈ÷ ³ôÁö¸¸ EUVÀÇ ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº ±Þ¼ÓÈ÷ »ó½ÂÇÏ´Â Ãß¼¼ÀÌ´Ù. 2023³â ±âÁØÀ¸·Î, EUV ³ë±¤±âÀÇ ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº ¾à 20%¸¦ ±â·ÏÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ´Â ¿¹³â°ú ºñ±³ÇÏ¿© »ó´çÈ÷ Áõ°¡ÇÑ ¼öÄ¡ÀÌ´Ù. DUV Àåºñ¿¡ ºñÇØ Ãʱâ ÅõÀÚ ºñ¿ëÀÌ »ó´çÈ÷ ³ôÁö¸¸, EUV ±â¼úÀÌ Á¦°øÇÏ´Â ³ôÀº »ý»ê¼º ¹× ´õ Á¤¹ÐÇÑ È¸·Î ¼³°èÀÇ °¡´É¼ºÀ¸·Î ÀÎÇØ ¸¹Àº ±â¾÷µéÀÌ EUV Àåºñ¸¦ µµÀÔÇÏ°í ÀÖ´Â »óȲÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÇ º¹À⼺ÀÌ Áõ°¡Çϸé¼, EUVÀÇ Çʿ伺ÀÌ¡¦(»ý·«)
|