¢¸
  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (1 ÆäÀÌÁö)
    1

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (2 ÆäÀÌÁö)
    2

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (3 ÆäÀÌÁö)
    3

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (4 ÆäÀÌÁö)
    4

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (5 ÆäÀÌÁö)
    5

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (6 ÆäÀÌÁö)
    6


  • º» ¹®¼­ÀÇ
    ¹Ì¸®º¸±â´Â
    6 Pg ±îÁö¸¸
    °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
¢º
Ŭ¸¯ : ´õ Å©°Ôº¸±â
  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (1 ÆäÀÌÁö)
    1

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (2 ÆäÀÌÁö)
    2

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (3 ÆäÀÌÁö)
    3

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (4 ÆäÀÌÁö)
    4

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (5 ÆäÀÌÁö)
    5

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (6 ÆäÀÌÁö)
    6



  • º» ¹®¼­ÀÇ
    (Å« À̹ÌÁö)
    ¹Ì¸®º¸±â´Â
    6 Page ±îÁö¸¸
    °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
´õºíŬ¸¯ : ´Ý±â
X ´Ý±â
µå·¡±× : Á¿ìÀ̵¿

EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.

·¹Æ÷Æ® > °æ¿µ°æÁ¦ ÀÎ ¼â ¹Ù·Î°¡±âÀúÀå
Áñ°Üã±â
Å°º¸µå¸¦ ´­·¯ÁÖ¼¼¿ä
( Ctrl + D )
¸µÅ©º¹»ç
¸µÅ©ÁÖ¼Ò°¡ º¹»ç µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
¿øÇÏ´Â °÷¿¡ ºÙÇô³Ö±â Çϼ¼¿ä
( Ctrl + V )
¿ÜºÎ°øÀ¯
ÆÄÀÏ : EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech. (2) .hwp   [Size : 20 Kbyte ]
ºÐ·®   6 Page
°¡°Ý  3,000 ¿ø

Ä«Ä«¿À ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
±¸±Û ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
ÆäÀ̽ººÏ ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â


¸ñÂ÷/Â÷·Ê

1. ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ ½ÃÀå Á¡À¯À²

2. EUV¿ë Pellicle ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× °³¹ß ÇöȲ

3. EUV¿ë Mask ±â¼ú ÇöȲ_1(Mask Writing Àåºñ)

4. EUV¿ë Mask °Ë»ç ±â¼ú ÇöȲ ¹× ½ÃÀå ±Ô¸ð_1

5. EUV¿ë Mask °Ë»ç ±â¼ú ÇöȲ ¹× ½ÃÀå ±Ô¸ð_2

6. EUV¿ë °èÃø ±â¼ú ÇöȲ ¹× ½ÃÀå ±Ô¸ð

º»¹®/³»¿ë
1. ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ ½ÃÀå Á¡À¯À²

¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ ½ÃÀå¿¡¼­ EUV(EUV Lithography) ±â¼úÀº ÃÖ±Ù ¸î ³â °£ Å©°Ô ºÎ°¢µÇ¾ú´Ù. EUV´Â ³ôÀº Çػ󵵸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Çõ½ÅÀûÀÎ ³ë±¤ ±â¼ú·Î, 7nm ÀÌÇÏÀÇ Á¤¹ÐÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Á¤¹Ðµµ¸¦ ÀÚ¶ûÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯Â¡ ¶§¹®¿¡ EUV ±â¼úÀº Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ÇʼöÀûÀ̸ç, ´Ù¾çÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ ÀÌ ±â¼úÀ» µµÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù. EUV ³ë±¤ Àåºñ´Â ±âÁ¸ÀÇ DUV(Deep Ultraviolet) ³ë±¤ Àåºñ¿¡ ºñÇØ »ý»ê¼º°ú Àü¹ÝÀûÀÎ Á¦Á¶ ºñ¿ëÀÇ Àý°¨À» °¡´ÉÇÏ°Ô Çϸç, ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯¼º ¶§¹®¿¡ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷üµéÀº EUV ±â¼úÀ» äÅÃÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ ½ÃÀåÀº Å©°Ô DUV¿Í EUV·Î ³ª´µ¸ç, DUVÀÇ Á¡À¯À²ÀÌ ¿©ÀüÈ÷ ³ôÁö¸¸ EUVÀÇ ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº ±Þ¼ÓÈ÷ »ó½ÂÇÏ´Â Ãß¼¼ÀÌ´Ù. 2023³â ±âÁØÀ¸·Î, EUV ³ë±¤±âÀÇ ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº ¾à 20%¸¦ ±â·ÏÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ´Â ¿¹³â°ú ºñ±³ÇÏ¿© »ó´çÈ÷ Áõ°¡ÇÑ ¼öÄ¡ÀÌ´Ù. DUV Àåºñ¿¡ ºñÇØ Ãʱâ ÅõÀÚ ºñ¿ëÀÌ »ó´çÈ÷ ³ôÁö¸¸, EUV ±â¼úÀÌ Á¦°øÇÏ´Â ³ôÀº »ý»ê¼º ¹× ´õ Á¤¹ÐÇÑ È¸·Î ¼³°èÀÇ °¡´É¼ºÀ¸·Î ÀÎÇØ ¸¹Àº ±â¾÷µéÀÌ EUV Àåºñ¸¦ µµÀÔÇÏ°í ÀÖ´Â »óȲÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÇ º¹À⼺ÀÌ Áõ°¡Çϸ鼭, EUVÀÇ Çʿ伺ÀÌ¡¦(»ý·«)


ÀúÀÛ±ÇÁ¤º¸
À§ Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ Áø½Ç¼º¿¡ ´ëÇÏ¿© ȸ»ç´Â º¸ÁõÇÏÁö ¾Æ´ÏÇϸç, ÇØ´ç Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ÀúÀ۱ǰú ±âŸ ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ÀÚ·á µî·ÏÀÚ¿¡°Ô ÀÖ½À´Ï´Ù. À§ Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ ºÒ¹ýÀû ÀÌ¿ë, ¹«´Ü ÀüÀ硤¹èÆ÷´Â ±ÝÁöµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀúÀÛ±ÇħÇØ, ¸í¿¹ÈÑ¼Õ µî ºÐÀï¿ä¼Ò ¹ß°ß½Ã °í°´¼¾ÅÍÀÇ ÀúÀÛ±ÇħÇØ½Å°í ¸¦ ÀÌ¿ëÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
ÀÚ·áÁ¤º¸
ID : hajo******
Regist : 2024-10-09
Update : 2024-10-09
FileNo : 25560308

Àå¹Ù±¸´Ï

¿¬°ü°Ë»ö(#)
EUV   EUV³ë±¤   EUV±â¼ú   ¾÷ü   Tech  


ȸ»ç¼Ò°³ | ÀÌ¿ë¾à°ü | °³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ | °í°´¼¾ÅÍ ¤Ó olle@olleSoft.co.kr
¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® | »ç¾÷ÀÚ : 408-04-51642 ¤Ó ±¤ÁÖ±¤¿ª½Ã ±¤»ê±¸ ¹«Áø´ë·Î 326-6, 201È£ | äÈñÁØ | Åë½Å : ±¤»ê0561È£
Copyright¨Ï ¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® All rights reserved | Tel.070-8744-9518
ÀÌ¿ë¾à°ü | °³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ ¤Ó °í°´¼¾ÅÍ ¤Ó olle@olleSoft.co.kr
¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® | »ç¾÷ÀÚ : 408-04-51642 | Tel.070-8744-9518