1. ESD(Electrostatic spray deposition)¶õ
ESD(Electrostatic Spray Deposition)´Â Àü±âÀûÀÎ ÈûÀ» È°¿ëÇÏ¿© ¹Ì¼¼ÇÑ µµ·á ÀÔÀÚ¸¦ Á¤¹ÐÇÏ°Ô Ç¥¸é¿¡ ºÐ»çÇÏ´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ÁÖ·Î µµÀå »ê¾÷°ú °°Àº ºÐ¾ß¿¡¼ »ç¿ëµÇ¸ç, °íÇ°Áú ÄÚÆÃÀ» Àû¿ëÇÏ´Â µ¥ À¯¸®ÇÑ ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ESDÀÇ ±âº» ¿ø¸®´Â Á¤Àü±â¸¦ ÀÌ¿ëÇØ µµ·á ÀÔÀÚ¸¦ ÀüÇϸ¦ °¡Áø ¹°Ã¼·Î À¯µµÇÏ°í, ±× Á¤Çϸ¦ ÅëÇØ ÀÔÀÚ¸¦ Ç¥¸é¿¡ ºÙÀÌ´Â °ÍÀ¸·Î, ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ µµ·á°¡ °í¸£°Ô ºÐÆ÷ÇÏ°í ³¶ºñ¸¦ ÃÖ¼ÒÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ±âº»ÀûÀ¸·Î ESD¿¡¼´Â µµ·á Àü°³±â³ª ºÐ»ç±â¸¦ ÅëÇØ µµ·á°¡ °ø±â¿Í È¥ÇÕµÇ¾î ¹Ì¼¼ÇÑ ÀÔÀÚ·Î º¯ÈÇÑ µÚ, ÀÌ ÀÔÀÚµéÀÌ Àü±âÀåÀÌ Çü¼ºµÈ Ç¥¸éÀ¸·Î ³¯¾Æ°¡°Ô µÈ´Ù. À̶§ µµ·á´Â À½±Ø°ú ¾ç±ØÀ¸·Î ³ª´µ¾îÁö¸ç, °¢±â ´Ù¸£°Ô ÀüÇϸ¦ ºÎ¿©¹Þ´Â´Ù. ÀüÇϸ¦ ºÎ¿©¹ÞÀº µµ·á ÀÔÀÚ´Â ¹Ý´ë ÀüÇϸ¦ °¡Áø Ç¥¸éÀ¸·Î Àη ÀÛ¿ëÀ»¹Þ¾Æ ºü¸£°Ô Á¢±ÙÇÏ°í, ÀÌ·Î ÀÎÇØ µµ·á°¡ Á¤¹ÐÇÏ°Ô ¹ß¶óÁö°Ô µÈ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Àü±âÀû »óÈ£ÀÛ¿ë ´öºÐ¿¡ µµÄÃÀÔÀÚµéÀÌ ºñÁ¢ÃËÀ¸·Îµµ Ç¥¸é¿¡ È¿À²ÀûÀ¸·Î ºÎÂøµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. ESD ±â¼úÀÇ Å« ÀåÁ¡ Áß Çϳª´Â µµ·áÀÇ »ç¿ë·®À» Å©°Ô ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡ÀÌ´Ù. ÀϹÝÀûÀÎ ºÐ»ç ¹æ¹ý¿¡¼ ÀÚÁÖ ¹ß»ýÇÏ´Â µµ·áÀÇ ³¶ºñ¿Í ove¡¦(»ý·«)
|