¢¸
  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (1 ÆäÀÌÁö)
    1

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (2 ÆäÀÌÁö)
    2

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (3 ÆäÀÌÁö)
    3

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (4 ÆäÀÌÁö)
    4

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (5 ÆäÀÌÁö)
    5

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (6 ÆäÀÌÁö)
    6


  • º» ¹®¼­ÀÇ
    ¹Ì¸®º¸±â´Â
    6 Pg ±îÁö¸¸
    °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
¢º
Ŭ¸¯ : ´õ Å©°Ôº¸±â
  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (1 ÆäÀÌÁö)
    1

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (2 ÆäÀÌÁö)
    2

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (3 ÆäÀÌÁö)
    3

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (4 ÆäÀÌÁö)
    4

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (5 ÆäÀÌÁö)
    5

  • EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.   (6 ÆäÀÌÁö)
    6



  • º» ¹®¼­ÀÇ
    (Å« À̹ÌÁö)
    ¹Ì¸®º¸±â´Â
    6 Page ±îÁö¸¸
    °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
´õºíŬ¸¯ : ´Ý±â
X ´Ý±â
µå·¡±× : Á¿ìÀ̵¿

EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech.

·¹Æ÷Æ® > °æ¿µ°æÁ¦ ÀÎ ¼â ¹Ù·Î°¡±âÀúÀå
Áñ°Üã±â
Å°º¸µå¸¦ ´­·¯ÁÖ¼¼¿ä
( Ctrl + D )
¸µÅ©º¹»ç
¸µÅ©ÁÖ¼Ò°¡ º¹»ç µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
¿øÇÏ´Â °÷¿¡ ºÙÇô³Ö±â Çϼ¼¿ä
( Ctrl + V )
¿ÜºÎ°øÀ¯
ÆÄÀÏ : EUV, EUV³ë±¤,EUV±â¼ú,EUV ¾÷ü,EUV Tech..hwp   [Size : 20 Kbyte ]
ºÐ·®   6 Page
°¡°Ý  3,000 ¿ø

Ä«Ä«¿À ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
±¸±Û ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
ÆäÀ̽ººÏ ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â


¸ñÂ÷/Â÷·Ê

1. ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ ½ÃÀå Á¡À¯À²

2. EUV¿ë Pellicle ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× °³¹ß ÇöȲ

3. EUV¿ë Mask ±â¼ú ÇöȲ_1(Mask Writing Àåºñ)

4. EUV¿ë Mask °Ë»ç ±â¼ú ÇöȲ ¹× ½ÃÀå ±Ô¸ð_1

5. EUV¿ë Mask °Ë»ç ±â¼ú ÇöȲ ¹× ½ÃÀå ±Ô¸ð_2

6. EUV¿ë °èÃø ±â¼ú ÇöȲ ¹× ½ÃÀå ±Ô¸ð

º»¹®/³»¿ë
1. ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ ½ÃÀå Á¡À¯À²

¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ ½ÃÀåÀº ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ÇʼöÀûÀÎ °úÁ¤À¸·Î, °íÇØ»óµµÀÇ È¸·Î ÆÐÅÏÀ» ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ Çü¼ºÇÏ´Â ´Ü°èÀÌ´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼­ »ç¿ëÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ ±â¼úµé Áß ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ ±â¼úÀº ÃÖ±Ù ¸î ³â°£ °­·ÂÇÑ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù. EUV ±â¼úÀº ±âÁ¸ÀÇ ±¤ÇÐ ³ë±¤ ±â¼úº¸´Ù ´õ ªÀº ÆÄÀåÀÇ ºûÀ» »ç¿ëÇØ ´õ¿í ¹Ì¼¼ÇÑ ÆÐÅÏÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡ ¼ÒÇüÈ­¿Í °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÏ´Â µ¥ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. EUV ±â¼úÀÇ ÃâÇöÀ¸·Î ÀÎÇØ ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ÀÇ ½ÃÀå Á¡À¯À²ÀÌ ±Þ°ÝÈ÷ º¯È­ÇÏ°í ÀÖ´Ù. 2000³â´ë ÃʹݱîÁö¸¸ Çصµ DUV(Deep Ultraviolet) ±â¼úÀÌ ÁÖµµÇÏ´ø ½ÃÀå¿¡ EUV°¡ º»°ÝÀûÀ¸·Î µµÀԵǸ鼭 ±Þ°ÝÇÑ ¼ºÀå¼¼¸¦ º¸¿´´Ù. 2020³â´ë µé¾î EUV´Â ÁÖ·ù ±â¼ú·Î ÀÚ¸®ÀâÀ¸¸ç, °í±Þ °í¹Ðµµ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿ì¼öÇÑ ¼º´É°ú °æÁ¦¼ºÀ» Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Ù. 2023³â ÇöÀç, ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ Àåºñ ½ÃÀå¿¡¼­ EUV ÀåºñÀÇ Á¡À¯À²Àº Àüü ³ë±¤ Àåºñ ½ÃÀåÀÇ ¾à 30%¿¡¼­ 40%¿¡ ´ÞÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù. ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ ´ë±â¾÷µéÀÌ EUV ±â¼úÀ» äÅÃÇØ ´õ¿í ¹Ì¼¼ÇÑ °øÁ¤À¸·Î ÀüȯÇÏ°í Àֱ⠶§¹®À̸ç, ƯÈ÷ 7nm ¹× 5nm °øÁ¤°ú °°Àº ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Ĩ Á¦Á¶¿¡ ÀÖ¾î EU¡¦(»ý·«)


ÀúÀÛ±ÇÁ¤º¸
À§ Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ Áø½Ç¼º¿¡ ´ëÇÏ¿© ȸ»ç´Â º¸ÁõÇÏÁö ¾Æ´ÏÇϸç, ÇØ´ç Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ÀúÀ۱ǰú ±âŸ ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ÀÚ·á µî·ÏÀÚ¿¡°Ô ÀÖ½À´Ï´Ù. À§ Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ ºÒ¹ýÀû ÀÌ¿ë, ¹«´Ü ÀüÀ硤¹èÆ÷´Â ±ÝÁöµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀúÀÛ±ÇħÇØ, ¸í¿¹ÈÑ¼Õ µî ºÐÀï¿ä¼Ò ¹ß°ß½Ã °í°´¼¾ÅÍÀÇ ÀúÀÛ±ÇħÇØ½Å°í ¸¦ ÀÌ¿ëÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
ÀÚ·áÁ¤º¸
ID : hajo******
Regist : 2024-09-29
Update : 2024-09-29
FileNo : 24999868

Àå¹Ù±¸´Ï

¿¬°ü°Ë»ö(#)
EUV   EUV³ë±¤   EUV±â¼ú   ¾÷ü   Tech  


ȸ»ç¼Ò°³ | ÀÌ¿ë¾à°ü | °³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ | °í°´¼¾ÅÍ ¤Ó olle@olleSoft.co.kr
¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® | »ç¾÷ÀÚ : 408-04-51642 ¤Ó ±¤ÁÖ±¤¿ª½Ã ±¤»ê±¸ ¹«Áø´ë·Î 326-6, 201È£ | äÈñÁØ | Åë½Å : ±¤»ê0561È£
Copyright¨Ï ¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® All rights reserved | Tel.070-8744-9518
ÀÌ¿ë¾à°ü | °³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ ¤Ó °í°´¼¾ÅÍ ¤Ó olle@olleSoft.co.kr
¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® | »ç¾÷ÀÚ : 408-04-51642 | Tel.070-8744-9518