¹æ¹ýÀ¸·Î °è´ÜÇü ±¤¼¶À¯»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó °æ»çÇü ±¤¼¶À¯µµ Á¦ÀÛ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. °æ»çÇü ±¤¼¶À¯ÀÇ °æ¿ì coreÀç·á¿Í cladding Àç·á°¡ ÇÔ²² ³ª¿Ã ¶§ ¼·Î È®»ê½ÃÅ´À¸·Î¼ ±¼Àý·üÀ» Á¡ÁøÀûÀ¸·Î º¯È½ÃÄÑ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù.
¨è Rod-in-Tube
Cladding¿ë À¯¸® tube¾È¿¡ ±¼Àý·üÀÌ ¾à°£ ³ôÀº core¿ë À¯¸®ºÀÀ» »ðÀÔÇÏ¿© µÎ ¹°ÁúÀÌ Àß °áÇÕÇÏ°Ô ÇÑ ÈÄ ³¡À» °¡¿ÇÑ´Ù. ÀÌ ¶§ core¿¡ cladding ÀçÁúÀÌ ÀÔÇôÁ®¼ ³ì¾Æ ³»·Á¿À´Â °ÍÀ» »Ì¾Æ³»¸é ±¤¼¶À¯°¡ µÈ´Ù. ÀÌ ¹æ¹ýÀº ¾çÁúÀÇ tube¿Í À¯¸®ºÀ »çÀÌ¿¡ ¿À¿°¹°ÁúÀÌ ÀÖ°Ô µÇ¸é, Á¦ÀÛ ÈÄ¿¡ ¼Õ½ÇÀ̳ª »ê¶õÀÇ ¿äÀÎÀÌ µÉ ¼ö ÀÖ´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
2) ±â»ó ÁõÂø ¹æ¹ý
°¡Àå ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î À¯¸® Á¶¼º¿ë ÈÇÐÁõ±âÀÎ SiCl4, Gecl4, BCl4¸¦ È¿° ¼Ó¿¡¼ ȸÀüÇÏ´Â ºÀÀ̳ª tubeÀÇ Ç¥¸é¿¡ Àû´çÈ÷ Èê·ÁÁÖ¾î Åõ¸íÇÑ ¿©·¯ SiO2ÃþÀ» ÁõÂø½ÃÅ°°í, ¿©±â¿¡ GeO2, B2O3 ¹× P2O3¿Í °°Àº ¼Ò·®ÀÇ ºÒ¼ø¹°À» ÷°¡ÇÏ¿© ÀûÀýÇÑ ±¼Àý·ü ºÐÆ÷¿Í Å©±â¸¦ °®´Â ¸ðÀ縦 ¸¸µå´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
¨ç OVPO (³»ºÎÁõÂø)
OVPO(Outside Vapor Phase Oxidation) °øÁ¤À» Àϸí OVD(Outside Vapor Deposition) °øÁ¤À̶ó°íµµ ÇÏ¸ç ¹ö³Ê·Î °¡¿µÈ ȸÀüÇÏ¡¦(»ý·«)
¨è VAD (ÃàÁõÂø)
¨é MCVD
¨ê PCVD
|