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본 강연은 2005년 03월 23일 ‘한국기계 연구원(KIMM)’의 김기돈 연구원에 의해 2 시간 가량 강연 되었다. 강연 내용으로는 우리가 이미 2학년 전공 선택 과정의 매카트로닉스 및 실험을 통해 익숙해진 나노의 개념과 더불어 아직은 생소한 나노임프린트 리소그래피에 대한 소개가 이루어졌다. 국내 나노 관련 분야의 동향을 현장에 있는 연구원을 통해 들음으로써 한층 피부로 와 닿고 흥미로운 강연이었다.
강연 내용으로는 초반부에는 ‘나노, 나노테크놀리지의 개념과 나노 응용 분야’에 대하여 설명 되어졌다.
‘나노’는 우리가 이미 알고 있듯이 ‘10-9 승’ 의 분자･원자 개념에서 나타나는 새로운 현상 및 특성을 이용하는 두뇌 원천 기술로써, 이를 쉽게 살펴보자면 1nm 는 1m 와 비교하여 단추(12.6mm)와 지구(12600km) 의 관계라 할 수 있다고 하였다.
이러한 초미세 원자 개념인 ‘나노’는 현재 여러 산업 분야에 응용 되어 지고 있다. 이를 분야 별로 살펴보면 우선 ‘반도체 분야’에서는 ‘탄소 나노 튜브’의 경우 (그림 1.) ‘기판’ 위에 ‘탄소 나노 소자’를 성장시켜 이전 보다 집적도를 향상시키는 과정을 통해 ‘고 집적 반도체…(생략)
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‘나노패턴닝(nanopatterning)’공정으로 많은 기대가 모아지고 있으나, 몇 가지 문제점을 갖고 있다고 했다. 그 문제점으로는 ‘다층(multi-layer)작업’ 시 열 변형에 의해 다층정렬이 어렵다는 점과, 점도가 큰 ‘레지스트’를 ‘임프린트’ 하기 위해서는 고압(30 bar 정도)이 필요하기 때문에 하단에 제작된 구조물이 손상될 수 있으며, ‘NIL’에서 일반적으로 사용되는 불투명한 스탬프는 다층화 정렬작업에 불리하게 작용한다는 점 이 있다고 했다. -
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