1. ½ÇÇè¹æ¹ý
±âÆÇ ¼¼Á¤
¨ç ÁغñµÈ glass¸¦ 2¡¿2 cm2 Å©±â·Î ÀÚ¸¥ µÚ, boat¿¡ ´ã´Â´Ù.
¨è TCE, Acetone, Methanol, DI Water ¼øÀ¸·Î °¢°¢ 10ºÐ¾¿ ÃÊÀ½ÆÄ ¼¼Ã´À» ÇÑ´Ù.
¨é ¼¼Ã´ ÈÄ N2 ±âü·Î blow drying ÇÑ´Ù.
¨ê ÀÜ·ù À¯±â¹°°ú ¼öºÐÀ» Á¦°ÅÇϱâ À§Çؼ Convection Oven¿¡¼ 10ºÐ°£ °ÇÁ¶½ÃŲ´Ù.
Spin coating¿¡ ÀÇÇÑ ¹Ú¸·ÁõÂø
¨ç À¯±â¿ëÁ¦¿¡ ÁõÂøÀ» ¿øÇÏ´Â À¯±â¹°À» ³Ö°í ¿ë¾×À» ¸¸µç´Ù.
¨è Spin coaterÀÇ Àü¿øÀ» ÄÑ°í µ¤°³¸¦ ¿¾î ¼¼Á¤µÈ ±âÆÇÀ» Áß¾Ó¿¡ ¿Ã·Á ³õ´Â´Ù.
¨é RP¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© Spin coaterÀÇ È¸ÀüÆÇ°ú ±âÆÇÀ» ¹ÐÂø½ÃŲ´Ù.
¨ê ÁõÂø¿ë¾×À» ±âÆÇÀ§¿¡ ¶³¾î¶ß¸° ÈÄ È¸ÀüÆÇÀ» ȸÀü½ÃÄÑ ¿ë¾×À» µµÆ÷ÇÑ´Ù.
¨ë µµÆ÷µÈ ¿ë¾×¹Ú¸·À» oven¿¡ ³Ö¾î °ÇÁ¶½ÃŲ ÈÄ ²¨³½´Ù.
PL ºÐ±¤ ±¤µµ°è¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¹Ú¸· Ư¼º ºÐ¼®
¨ç Las...
|