Àç·á°øÇнÇÇè °á°úº¸°í¼
- Silicon nanowireÀÇ ÇÕ¼º -
1. Silicon nanowire¸¦ ÇÕ¼ºÇÏ´Â ¿©·¯ ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇÑ Á¶»ç.
1) vapor-liquid-solid (VLS) growth
- ÀÌ ¹æ½ÄÀº ÇöÀç±îÁö nanowire¸¦ ¸¸µå´Âµ¥ °¡Àå Àß ¾Ë·ÁÁø ¹æ¹ýÀÌ´Ù. °¡Àå ¸ÕÀú Ã˸ŷμ ±ÝÀÇ ³ª³ë ÀÔÀÚ°¡ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ µµÆ÷µÇ°í, ÀÌ ¿þÀÌÆÛ´Â Áø°ø üÀÓ¹ö ¾È¿¡¼ ±Ý°ú ½Ã¸®ÄÜÀÇ °øÀ¶Á¡ÀÌ»óÀÇ ¿Âµµ·Î °¡¿µÈ´Ù.(ÀÌ»ó annealing) °¡¿ ÈÄ ½Ç¸®ÄÜÀÇ °¡½º ¼Ò½ºÀÎ SiH4, Si2H6 ¶Ç´Â SiCL4°¡ üÀÓ¹ö ¾È¿¡ µµÀÔµÇ°í ³ôÀº ¿Âµµ·Î ÀÎÇØ ½Ç¸®ÄÜ°ú ±× ¿Ü ºÐÀÚ·Î ¿ ºÐÇصȴÙ. ÀÌ ¶§ »ý¼ºµÈ ½Ç¸®ÄÜ ÀÔÀÚµéÀº ±Ý-½Ç¸®ÄÜ °øÀ¶ ¾×üȥÇÕ¹°¿¡ ³ì¾Æµé¾î°£´Ù. ¿©±â¼ ³ì¾Æµé¾î°¥ ¼ö ÀÖ´Â ½Ç¸®ÄÜÀÇ ¾çÀÌ ÇÑÁ¤µÇ¾î ÀÖÀ¸¹Ç·Î (Si´Â ¾à 18wt%) ÁÖÀÔµÈ Si´Â ¹Ù´Ú¿¡ ħÀüµÈ´Ù. ÀÌ °úÁ¤ÀÇ °á°ú·Î ±Ý ÀÔÀÚ°¡ ½Ç¸®ÄÜ nanowire À§¿¡ ¸Å´Þ¸° ÇüÅÂÀÇ nanowire°¡ Çü¼º µÈ´Ù.
2) LGC (laser assisted catalytic growth)
- °áÁ¤ ¼ºÀå Ãʱ⠶§ ÇÙÀÌ »ý¼ºµÇ°í ÀÌ ÇÙÀÇ ¼ºÀåÀ¸·Î nanowire°¡ ¸¸µé¾îÁö·Á¸é ³ª³ë¹ÌÅÍ Å©±âÀÇ Ã˸Š¹æ¿ïÀ» ¸¸µé¾î¾ßÇϴµ¥ ÀÌ°ÍÀ» laser¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ÇÏ´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù. °¡¿µÈ¡¦(»ý·«)
3) self-catalytic VLS
4) Solution-Phase¿¡¼ÀÇ nanowire ¼ºÀå
2. Silicon nanowire°¡ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡ ´ëÇØ Á¶»ç.
|