³ª³ë °øÇнÇÇè ·¹Æ÷Æ®
Spin Coating
¹ÙÀÌ¿À³ª³ëÇкÎ
1. Introduction
-Spin coatingÀº ÀüÀÚ Á¦Ç° ¼ÒÀÚ¿¡ ¸¹ÀÌ »ç¿ëÀÌ µÈ´Ù. CoatingÇÒ materialÀ» WaferÀ§¿¡ ¶³¾î¶ß¸®°í °í¼ÓÀ¸·Î ȸÀüÀ» ½ÃÅ°¸é nm´ÜÀ§·Î ¾ã°Ô ÆìÁö¸é¼ coatingÀÌ µÈ´Ù. À̹ø ½ÇÇè¿¡¼´Â WaferÀ» »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê°í ½½¶óÀÌµå ±Û¶ó½º¸¦ »ç¿ëÇß´Ù. PMMA(Poly Methyl Methacrylate)¸¦ ³óµµ ¹× ȸÀü¼Óµµ¿¡ µû¶ó ºÐ·ùÇÏ¿© Thickness°¡ ¾î¶»°Ô ´Þ¶óÁö´Â Áö ¾Ë¾Æº¸¾Ò´Ù.
2. ½ÇÇè ÀÌ·Ð
-Spin coatingÀÇ ¿ø¸®´Â ¿ø½É·ÂÀÌ´Ù. materialÀÌ waferÀ§¿¡ ¿Ã¶óÀִ ä·Î Spin coating ±â°è¸¦ rpmÀ» ¼³Á¤ÇÑ ÈÄ wafer¿Í ±â°è »çÀÌ¿¡ Áø°øÀ» Àâ¾Æ wafer¸¦ °íÁ¤½ÃŲ´Ù. ±× ÈÄ ±â°è¸¦ ÀÛµ¿½ÃÅ°¸é materialÀÌ ¿ø½É·ÂÀ¸·Î ÀÎÇØ ¹Ù±ùÀ¸·Î »¸¾î³ª°£´Ù. Àü¹æÀ§·Î »¸¾î³ª°£ materialÀÌ wafer¸¦ coatingÇÑ´Ù.
µÎ²²¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¹æ¹ý¿¡´Â UV/Visible Spectroscopy¿Í ¥á-step 2°¡Áö·Î ³ª´ ¼ö ÀÖ´Ù.
ù° UV/Visible Spectroscopy ´Â À¯/¹«±â ÈÇÕ¹°ÀÇ Á¤·®, ÀÓ»ó½ÇÇè µî¿¡ ³Î¸® ¾²ÀÌ´Â ºÐ¼®±â±âÀ̸ç, ÈÇÕ¹°ÀÇ ±¸Á¶¸¦ ¹àÈ÷´Âµ¥µµ ¾î´À Á¤µµÀÇ Á¤º¸¸¦ Á¦°øÇÏÁö¸¸, ±¸Á¶ÀÇ ÆľǺ¸´Ù´Â¡¦(»ý·«)
¨ç ¨è
3. Materials and Method.
¨ç½½¶óÀÌµå ±Û¶ó½º 2°³¸¦ ´ÙÀ̾Ƹóµå Ä®À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© 8Á¶°¢À¸·Î ³ª´«´Ù.
¨è8Á¶°¢ÀÇ ½½¶óÀÌµå ±Û¶ó½º¿¡ ¹øÈ£¸¦ Ç¥½ÃÇÑ ÈÄ °¢ ¹øÈ£¿¡ µû¶ó Á¶°ÇÀ» ¼³Á¤ÇÑ´Ù. À̹ø ½ÇÇè¿¡¼ Á¶°ÇÀº 1~4±îÁö´Â ¼Óµµ¸¦ º¯¼ö·Î Àâ¾Ò´Ù. ¹øÈ£¼ø¼´ë·Î 1000rpm, 3000rpm, 5000rpm, 7000rpm ÀÌ°í ½Ã°£Àº 1ºÐ ³óµµ´Â 10%ÀÌ´Ù. 5~8±îÁö´Â ³óµµ¸¦ º¯¼ö·Î Àâ¾Ò´Ù. ¹øÈ£¼ø¼´ë·Î 4%, 6%, 8%, 10
|